氣體質(zhì)量流量控制器
標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
選配：現(xiàn)場總線接口
8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備桌越的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口，既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號，也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺。
8711型 流量范圍介質(zhì)1 15 單位介質(zhì)1 nl/min 參考介質(zhì)1丙烷 電源電壓24V直流電池電壓 實(shí)際值標(biāo)準(zhǔn)信號4-20mA 端口連接G1/4螺紋端口 鋁材料 密封材料FKM 線圈尺寸20 x 20 孔口尺寸1.6mm 型號2 2871 傳感器塊流量分配器C4 無傳感器功能 車身清潔度等級未定義 線圈功率5瓦 車身特征塑料外殼電子元件 校準(zhǔn)壓力med.1 1000 輸出壓力。醫(yī)學(xué)。0200問題1 壓力巴單位 安裝位置任意 校準(zhǔn)介質(zhì)1氣體工作氣體 量程1:50 二進(jìn)制輸入1默認(rèn)值 二進(jìn)制輸入2默認(rèn)值 二進(jìn)制輸出1默認(rèn)值 輸入標(biāo)稱值默認(rèn)為實(shí)際值輸出 功耗13瓦 典型功耗9.5瓦
技術(shù)數(shù)據(jù) 標(biāo)稱流量范圍1） （Q標(biāo)稱） 1000萬升/分鐘2）至80升 N/min（氮?dú)猓?/p> 見第2頁的表格 調(diào)低比為1:50，可根據(jù)要求提高調(diào)低比 工作氣體中性，無污染氣體， 應(yīng)要求 校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣 大工作壓力 （入口壓力） 10巴（145磅/平方英寸） 取決于閥門的孔 氣體溫度-10…+70°C（-10…+60°C，含氧） 環(huán)境溫度-10…+50°C 準(zhǔn)確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。 （預(yù)熱1分鐘后） 重復(fù)性±0.1%F.S。 穩(wěn)定時間（t95%）<300毫秒 材料 身體 住房 海豹 鋁或不銹鋼 PC（聚碳酸酯）或金屬 FKM、EPDM 端口連接NPT?，G?，螺紋接頭或法蘭， 其他應(yīng)要求 調(diào)節(jié)裝置 （比例閥） 閥孔板 k VS值 常閉式 0.05…4.0毫米 0.00006…0.32立方米/小時 電氣。連接 另外，現(xiàn)場總線： 插頭D-Sub 15針 帶PROFIBUS-DP：插座M12 5針 帶CANopen：插座M12 5針 24 V直流電源 電壓公差±10% 殘余波紋<2% 大功耗3.5…14 W （取決于使用的比例閥） 輸入信號 輸入阻抗 0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安 >20 kΩ（電壓）， <300Ω（電流） 輸出信號 大電流（電壓） 大負(fù)載（電流） 0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安 10毫安 600Ω 數(shù)字通信 可能通過適配器： RS232，Modbus RTU（通過RS適配器） RS485、RS422或USB （見第3頁附件表） 現(xiàn)場總線選項(xiàng)PROFIBUS-DP，CANopen 防護(hù)等級IP40 尺寸[mm]見圖紙5-7 總重量約500 g（鋁體） 水平或垂直安裝 發(fā)光二極管 （默認(rèn)功能， 其他可編程功能） 電源指示， 限制（模擬信號）/通信 （帶現(xiàn)場總線）和錯誤 二進(jìn)制輸入 （默認(rèn)功能， 其他可編程功能） 二 1啟動自動調(diào)諧 2未的 二進(jìn)制輸出 （默認(rèn)功能， 其他可編程功能） 繼電器輸出： 1限制（未達(dá)到設(shè)定值） 大負(fù)載：25V，1A，25VA 1） 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個 標(biāo)稱流量范圍定義了可能的標(biāo)稱流量范圍（滿標(biāo)度值）。 2） 指數(shù)N：指1.013 bar和0°C的流量。 另外，還有一個指數(shù)S，指的是1.013巴和20°C 實(shí)際流量由傳感器檢測。這是根據(jù) 一種具有提供質(zhì)量流優(yōu)勢的熱學(xué)原理 與壓力和溫度無關(guān)。 總氣體流的一小部分被轉(zhuǎn)移到 設(shè)計(jì)的旁路通道能保證層流條件。 傳感器元件是一個芯片，浸沒在該流道壁中。 該芯片采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)，包含一個加熱電阻和 對稱布置的兩個溫度傳感器（熱電堆） 加熱器的上游和下游。的差動電壓 熱電堆是通過流量傳感器的質(zhì)量流量的測量。 校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)了傳感器的維一分配 通過裝置的總流量信號。 
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